Просмотр кода страницы Течеискатель

'''Течеиска́тель''' — [[прибор]], предназначенный для выявления, локализации и количественной оценки величины [[Утечка|течи]]. Работа течеискателей может базироваться на различных физических принципах, ориентированных как на прямые, так и на косвенные измерения параметров.

''Терминология:''
* '''Течь''' — негерметичность, способность преграды (чаще всего ограничивающей замкнутый объём) пропускать наружу (в случае повышенного давления внутри полости) или внутрь (в случае пониженного давления или вакуума) нежелательные газообразные или жидкие вещества.

* '''Течеиска́ние''' — приемы, способы для выявления, локализации и количественной оценки течей.

* '''Тестовое вещество при поиске течи''' — [[вещество]], используемое при поиске течи в стенке, ограничивающей некий рабочий изолированный объём. Там, где это возможно, в качестве тестового вещества используют воду. В [[холодильная установка|холодильных установках]] в качестве тестового вещества может использоваться само [[рабочее тело]] ходильной машины — [[фреон]]. Во многие горючие газы (природный газ пропан-бутановую смесь для газовых баллонов) специально добавляют тестовое вещество, имеющее характерный «запах газа». В антифризы, некоторые современные фреоны также специально добавляют компоненты, обеспечивающие заметную люминесценцию в [[ультрафиолет]]овом свете. Фреоновые течеискатели также могут использовать в качестве тестового вещества пары различных летучих фтор и хлоруглеродных соединений, [[спирт]]. Из-за редкости в природе, легкости, летучести, высокой проницаемости и относительной простоты детектирования в масспектрометре и точности определения концентрации универсальным тестовым газом является газообразный [[гелий]].

* '''Отклик течеискателя''' — время между подачей тестового газа и появлением сигнализации течи на приборе;

* '''Релаксация течи''' или '''Релаксация течеискателя''' — время необходимое вакуумно-газовой системе тестируемого объекта и течеискателя, для устранения тестового газа и падения сигнала до фонового уровня.

== История ==
С момента создания человечеством ёмкостей для воды и пищи, а затем и первых трубопроводов для воды люди столкнулись с проблемами течей. В тот период выявление течи было легко произвести визуальным осмотром и главной проблемой было обеспечение герметичности ёмкости, но не течеискания.

Химические и алхимические эксперименты древних и средневековых учёных также не требовали тщательного обеспечения герметичности, и соответственно проблемы поиска и локализации течей, тем более сверхмалых тогда не были актуальными.

Начало развития паровой техники сделало актуальными вопросы по разработке стандартных массовых методик поиска и локализации течей. В первую очередь это было обусловлено необходимостью обеспечения безопасности сосудов, работающих под давлением, поскольку негерметичности [[Пайка|паяных]] и [[Сварка|сварных]] швов, дефектные участки в самом металле являются слабыми местами, по которым может произойти аварийное разрушение сосуда с непредсказуемыми (подчас катастрофическими) последствиями.

Дальнейшее развитие техники течеискания связано с широким распространением использования природного газа и сжатого воздуха в быту и промышленности. Для изделий, имеющих в нормальном состоянии повышенное давление во внутренних полостях (например, камеры и бескамерные шины), выявление с одновременной локализацией течей производится путём погружения тестируемого объекта, содержащего сжатый газ, в воду и наблюдения потока выходящих пузырьков. Для крупных объектов и протяжённых трубопроводов применяется обмыливание — в местах негерметичности мыльная плёнка образует мыльные пузыри, указывая на место течи. Метод крайне нагляден и прост в использовании, однако, отличается невысокой чувствительностью, которой, впрочем, вполне достаточно на газовых трубопроводах, промышленных и бытовых пневматических устройствах. Другим простым путём выявления течей стало добавление [[одорант]]ов (пахучих соединений) во взрыво-пожароопасные углеводородные газы. Так в России характерный «запах газа» на самом деле чаще всего является запахом [[этил-меркаптан]]а. Также для одорирования газов могут использоваться другие серосодержащие соединения, такие как [[тиол]]ы ([[меркаптан]]ы), [[метан]]- и [[этантиол]]ы, [[пенталарм]] (смесь этан- и [[пентантиол]]ов); [[сульфид]]ы — [[каптан]] (N-трихлорметил-тио-1,2,3,6-тетрагидрофталимид), диметил- и диэтилсульфиды, [[диметилдисульфид]], [[тетрагидротиофен]] и другие соединения.

Появление сложного вакуумного и холодильного оборудования привело к появлению точных приборных методов выявления течей с использованием тестового вещества. К настоящему времени оформилось 2 основных типа приборов:
* Фреоновые течеискатели для проверки работающих фреон-содержащих (чаще холодильных) установок или сосудов и трубопроводов, в которых создаётся избыточное давление фреона, четырёххлористого углерода или иного подобного маркерного вещества.
* Гелиевые течеискатели для проверки остановленного вакуумного оборудования с использованием гелия в качестве тестового газа.

В современной России по состоянию на 2011 год испытания на герметичность регламентируются «Правилами устройства и безопасной эксплуатации сосудов, работающих под давлением». Ими же устанавливаются правила и периодичность испытания сосудов и трубопроводов тестовым давлением газа в 1,5 раза превышающим рабочее и жидкостные испытания, заключающиеся в выдержке сосуда с водой при давлении превышающем рабочее в течение установленного времени. Результаты испытаний оцениваются по падению давления в сосуде и визуальным осмотром по наличию выступивших капель жидкости на поверхности сосуда. Строго говоря описанные способы выявления и локализации течей следует отнести скорее к [[Дефектоскопия|дефектоскопии]], но не к течеисканию, поскольку поиск течей в данном случае является лишь промежуточным вспомогательным инструментом [[Неразрушающий контроль|неразрушающего контроля]] объекта повышенной опасности перед допуском его к эксплуатации. Дальнейшее развитие способов дефектоскопии сварных швов на сосудах и трубопроводах сначала привело в появлению ультразвуковых дефектоскопов, а к началу XXI века и к появлению ультразвуковых течеискателей, не получивших, однако, большого распространения из-за чрезмерных требований к квалификации оператора, рабочей среде и неоднозначности результатов тестирования.

== Единицы измерения ==
Количественную оценку течей производят, как правило, при использовании тестового газа.
Для количественной оценки течей используется произведение величины тестируемого объёма на перепад давления в нём, отнесённое к единице времени.

: <math>Q = \frac{ V \cdot (P_k - P_o)} {t},</math>
где {{math|''Q''}} — величина (интенсивность) течи (в англоязычной литературе употребляется термин «leak rate» — скорость, степень течи)
: {{math|''V''}} — замкнутый тестируемый объём;
: <math>P_k , P_o</math> — конечное и начальное давление;
: {{math|''t''}} — промежуток времени за который производится наблюдение.
Примечание. Величина течи Q по данной формуле имеет отрицательное значение для систем, находящихся под избыточным давлением, и положительное значение - для вакуумных систем.

Интенсивность течи имеет размерность [м<sup>3</sup>]·[Па]/[с] = [H]·[м]/[c] = [Дж]/[с] = [Вт].

Как видно из формулы, по размерности величина течи эквивалентна мощности или скорости изменения [[энергия|энергии]] [[газ]]а в заданном неизменном объёме за единицу времени.
{| class="wikitable"
|-
! colspan="6" | Переводная таблица часто используемых единиц измерения величины течи.
|-
! width="35%" | Обозначения !! width="15%" | [Вт] !! width="15%" | [мбар]·[л]/[с] !! width="15%" | [Торр][л]/[с] !! width="15%" | [sccm] || rowspan="6" | ↑
|- align="center"
| align="left" | [Вт]<br>[м<sup>3</sup>]·[Па]/[с] || 1 || 10 || 7,5 || 586
|- align="center"
| align="left" | [мбар]·[л]/[с]<br>[атм]·[см<sup>3</sup>]/[с] || 0,1 || 1 || 0,75 || 58,6
|- align="center"
| align="left" | [Торр]·[л]/[с] || 0,133 || 1,33 || 1 || 78,0
|- align="center"
| align="left" | [sccm] || 0,00182 || 0,018 || 0,013 || 1
|- align="center"
|   || colspan="4" | → → → → → → → → → → → → → → → → →
|-
| colspan="6" | <small>'''[sccm]''' — ''от англ. «standard cubic centimeter per minute» стандартных кубических сантиметров в минуту (в пересчёте на атмосферное давление)''</small>
|}

== Классификация течей ==
Любая преграда в той или иной степени может быть негерметичной: так [[водород]] может диффундировать даже сквозь металл. Паропроницаемость полиэтилена не равна нулю. Многие технологические материалы с той или иной скоростью [[сублимация|сублимируют]] в вакууме либо при повышении температуры. Всегда и все открытые поверхности бывают покрыты слоем адсорбированных молекул, которые обеспечивают длительное относительно высокое натекание при их постепенной десорбции. Таким образом следует признать аксиомой, что абсолютная герметичность в принципе невозможна. Из-за этого все течи в первую очередь классифицируют по степени влияния на технологический процесс, проводимый на тестируемом оборудовании:
* течи, недетектируемые существующим оборудованием;
* течи, некритичные для технологического процесса, — чаще всего эти же течи являются недетектируемыми, поскольку экономически нецелесообразно использовать значительно более дорогие и чувствительные приборы для детектирования в некритичных диапазонах;
* течи, умеренно критичные для технологического процесса, — это течи, которые при использовании определённых технологических приёмов могут быть устранены либо их влияние может быть сведено к некритичному;
* критические течи, делающие невозможным завершение технологического процесса без получения брака либо развития аварии;

Все выявленные при тестировании течи при наличии такой возможности обязательно устраняются, поскольку постепенное увеличение выявленных течей либо кумулятивный итог нескольких старых и новых течей могут легко превысить критический порог.

=== Классификация течей на вакуумном оборудовании ===
Классификация течей на вакуумном оборудовании в первую очередь связана с конструктивными элементами установок, которые определяют поведение тестирующего прибора при течеискании, применительно к тестированию с использованием тестового газа:
* течи по фланцевым уплотнениям — течи легко детектируются и локализуются, поскольку доступ к ним открыт, отклик прибора на поступление тестового газа быстр, релаксация также наступает быстро.
* течи по манжетным уплотнениям — течи с трудом детектируются, но достаточно хорошо локализуются, поскольку проявляются чаще всего только при определённых положениях обжатого манжетой вала, имеют долгое время отклика и долгое время релаксации из-за газа, накопленного в полостях манжеты;
* течи по сварным швам — течи относительно легко детектируются, однако очень плохо локализуются из-за протяжённости дефектных участков.
* полостные течи — течи элементов прибора, находящихся в закрытом корпусе — отклик на течь возникает только после того, как корпус достаточно наполнится тестовым газом либо он распределится по корпусу — течи плохо детектируются и локализуются из-за сверхдлительного отклика и сверхдлительной релаксации;
* течи по трубопроводам — течи относительно хорошо детектируются, но плохо локализуются из-за сильного запаздывания отклика, особенно на трубопроводах малого диаметра;
* течи по вакуумным насосам — течи очень хорошо детектируются и локализуются, при условии, что система вакуумных насосов течеискателя обеспечивает более глубокий вакуум чем тестируемые насосы; при наличии открытого выхлопа тестируемых насосов всегда появляется сигнал о течи через обратный поток газа.
* блуждающие течи — наиболее сложные для детектирования и локализации виды проявления течей описанных выше видов; возникают из-за переноса тестового газа воздушными потоками разного происхождения; возможно появление блуждающего сигнала из-за попадания тестового газа на выхлоп форвакуумного насоса самого течеискателя.

== Приёмы диагностики течей ==
Диагностика течей может быть направлена на:
# выявление негерметичности;
# локализацию течи;
# оценку величины натекания;
В зависимости от целей течеискания применяется различное аппаратурное оформление, различные схемы подачи тестового вещества и подключения детектирующей аппаратуры.

=== Детектирование путём контроля натекания ===
Самый простой приём выполняется перед переходом к другим методам тестирования: все входы и выходы объекта с повышенным или пониженным давлением перекрываются и после заданной выдержки оценивается изменение давления в тестируемом объекте, после чего рассчитывается степень натекания. Если степень натекания критична, то переходят к другим приёмам локализации течей.

Достаточно прост и не требует аппаратурного оформления метод отсечки, когда при наличии на тестируемом объекте технически изолированных объёмов после проверки натекания на всём объекте в целом, отсекаются отдельные участки и тем самым локализуется негерметичный фрагмент объекта тестирования.

=== Обмыливание ===
Для тестирования сосудов, трубопроводов и других объектов, давление в которых превышает атмосферное, может применяться обмыливание.

Для обмыливания используется жидкий мыльный раствор либо раствор иного [[ПАВ|поверхностно-активного вещества]], способного образовывать мыльную пену или [[мыльный пузырь|мыльные пузыри]]. В ходе тестирования губкой, смоченной в мыльном растворе, протираются все подозрительные участки тестируемого объекта. Раствор должен наноситься тонкой сплошной плёнкой. Места течей проявляются визуально в виде надувающихся в месте течи мыльных пузырей.

Приём позволяет надёжно обнаруживать течи с интенсивностью выше {{nobr|10<sup>−3</sup> Вт}}.

Хотя метод обмыливания допускает возможность некоторой количественной калибровки по степени натекания, чаще всего он используется, как чисто качественный приём в областях, не требующих количественной оценки: проверка герметичности надувных изделий, первичный контроль качества монтажа газовой арматуры.

=== Гидростатические испытания ===
Для тестирования сосудов, работающих под давлением законодательно устанавливаются правила гидростатических испытаний.

При гидростатических испытаниях в полостях тестируемого объекта создаётся давление воды, превышающее рабочее давление на установленную величину. Под этим давлением объект должен быть выдержан в течение установленного времени. Успешность гидростатического испытания, в первую очередь, оценивается по отсутствию следов разрушения объекта. И только во вторую очередь, при гидростатических испытаниях производится выявление и локализация течей путём визуального осмотра.

Порог чувствительности этого метода сопоставим с чувствительностью метода обмыливания. Главной проблемой метода является заметность выступивших капель при малых интенсивностях течи. Для повышения чувствительности и заметности капель в воду может быть добавлен флуоресцентный маркер, но это позволяет поднять чувствительность не более чем до {{nobr|10<sup>−5</sup> Вт}}.

{{нет АИ 2|Как одну из вариаций метода можно рассматривать следующий приём: в рубашке охлаждения объекта создаётся проток воды под давлением; внутри объекта располагается включённый нагреватель. Определение места течи может быть выполнено по следам отложений солей жёсткости в месте выхода капли, либо по разводам реагирующих с водой веществ на стенках объекта, но чувствительность метода в таком исполнении, как правило, уступает методу обмыливания, хотя для случая локализации трещин, раскрывающихся только при нагреве дефектного участка он также применим.|9|08|2016}}

=== Приёмы диагностики с использованием тестового газа ===
Многие типы течеискателей являются приборами-[[газоанализатор]]ами. В принципе каждый [[газоанализатор]] может служить течеискателем{{Нет АИ|20|4|2015}}, но не каждый течеискатель является [[газоанализатор]]ом. Так, для поиска течей в подземных водопроводах газоанализаторы не применяются, поскольку пары воды не проходят через грунт в достаточном количестве, чтобы выявить их на фоне естественной концентрации водяных паров в атмосфере, что не позволяет достоверно установить даже сам факт течи.

По интенсивности потока тестового газа приёмы можно разделить на:
* Детектирование на сильном потоке обычно проводится в качестве стартовой процедуры, позволяет за счёт увеличения расхода газа сократить время процесса тестирования, выявить течи меньшей мощности; при этом возникает вероятность проявления блуждающих течей, которые в большинстве своём частично локализуются на этом же этапе; при детектировании на сильном потоке газ направляется широким конусом с расстояния до 10 сантиметров, чтобы захватить наибольшую площадь тестируемого объекта. подающая газ игла с сечением сопла порядка {{nobr|0,6 мм}} движется быстро от {{nobr|2—3 см}} в секунду, ускоряя процесс тестирования, подающее газ сопло не касается никаких объектов, что предотвращает засорение сопла; сильным считается поток, ощутимый на расстоянии {{nobr|3—5 сантиметров}} от наиболее чувствительных участков кожи руки; под действием сильного потока зеркало масла или воды с того же расстояния должно прогибаться на {{nobr|2—3 мм}}.
* Детектирование на малом потоке позволяет более точно локализовать течь и оценить её мощность; применяется обычно после первичного детектирования течей на сильном потоке; при локализации течей на малом потоке сопло подачи газа ведётся минимально близко от объекта и очень медленно, до {{nobr|5 мм}} в секунду; при первичном детектировании на слабом потоке затрачивается на порядок больше времени, чем при детектировании на большом потоке и часть малых течей может быть пропущена; малый поток не обнаруживается по тактильным ощущениям, но может быть определён по пузырькам, выходящим из сопла погружённого в воду или масло.

По направлению движения по установке приёмы можно разделить на движение по ходу рассеивания тестового газа и против него. Так, например, при использовании гелия, поднимающегося вверх, при детектировании на сильном потоке и при движении снизу вверх могут появляться блуждающие отклики, которые легко определяются по своему неустойчивому характеру, облегчают детектирование, но несколько затрудняют локализацию течей. С другой стороны движение сверху вниз из-за отсутствия тех же блуждающих откликов затрудняет первичное детектирование, что может приводить к пропускам течей операторами.

== Типы течеискателей ==
В зависимости от оборудования, в котором выявляются течи, поиск течей может производиться визуальным осмотром; обмыливанием; приборами, реагирующими на рабочее вещество тестируемого оборудования; приборами, реагирующими на тестовое вещество

=== Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели ===

==== Применение ====
Необходимым условием для использования гелиевых масспектрометрических течеискателей является наличие вакуума в детекторе прибора — в масспектрометре. Соответственно течеискатели делят на 2 вида — течеискатели для работы с вакуумируемым оборудованием и течеискатели-шнифферы (от {{lang-en|[[:en:sniffer|sniffer]]}} и {{lang-de|[[:de:Schnüffer|Schnüffer]]}} — нюхач<ref>Многозначность русского слова «нюхач» адекватно отвечает возможным вариантам перевода — от «шпик» и «наркоман», до «тип газоанализатора».</ref>) с помощью которых фиксируют течи тестового газа из тестируемого объёма в атмосферу. Шнифферы являются более дешёвыми<ref>до 15 тыс. евро за портативный шниффер против 20-30 тыс. евро за универсальный портативный течеискатель.</ref> моделями течеискателей и обладают на 4—6 порядков более низкой чувствительностью, чем течеискатели на вакууме. Тем не менее большинство течеискателей первого типа комплектуется насадками для защиты входа, которые позволяют им работать в режиме шниффера.

==== Устройство ====
[[Файл:Vacuum system of helium leak detector PTI-10.PNG|thumb|Vacuum system of helium leak detector PTI-10 (Сделано в СССР)]]

[[Файл:Scetch of mass-spectrometric camera of a helium leak detector.PNG|thumb|Схема масс-спектрометрической камеры. Показаны траектории ионов различной эффективной массы ({{math|''М''<sub>3</sub> > ''М''<sub>2</sub> > ''М''<sub>1</sub>}}). 1 — диафрагма; 2 — приёмник ионов; 3 — коллектор; 4 — источник ионов; 5 — супрессорная сетка коллектора ионов; 6 — входная диафрагма коллектора ионов; 7 — катод]]

* Детектор тестового газа. Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели в качестве детектора газа используют [[масс-спектрометр]]ические ловушки, включающие в себя:
# вакуумируемая камера;
# мишень для детектирования ионов гелия;
# управляющие электроды, создающие электростатическое поле и предназначенные для разгона ионов и юстировки ионного потока;
# обогреваемого катода, служащего для эмиссии электронов, ионизирующих молекулы газа попадающих в камеру масс-спектрометра; материалом катода, как правило, служит вольфрам, покрытый торием, иногда используются другие материалы.
* Насос предварительного вакуума.
# Для создания предварительного вакуума на течеискателях используются малые форвакуумные насосы с производительностью до 50м<sup>3</sup>/час.
# Компактные и портативные течеискатели могут оснащаться выносными основными или дополнительными форвакуумными насосами.
# В конце XX века в связи с повышением требований к чистоте вакуумных процессов течеискатели начали оснащаться не только масляными золотниковыми, но и так называемыми «сухими» или иначе «безмасляными» форвакуумными насосами различных типов: [[Когтевой форвакуумный насос|когтевыми]], [[Роторный форвакуумный насос|роторными]], [[Винтовой форвакуумный насос|винтовыми]], [[Спиральный форвакуумный насос|спиральными]].
* Насос глубокого вакуума.
# Характеристики насосов глубокого вакуума лимитируют чувствительность приборов. Упомянутая ранее пониженная чувствительность шнифферов и универсальных приборов, работающих в режиме шниффера, обусловлены тем, что масс-спектрометр работает с повышенным количеством посторонних молекул, которые неизбежно влияют на уровень фоновых шумов прибора. Аналогичная картина наблюдается на входном порте прибора.
# До изобретения в конце XX века турбомолекулярных насосов в качестве насоса второй ступени в течеискателях использовались масляные пароструйные насосы. Технические особенности таких насосов ограничивают глубину создаваемого вакуума парциальным давлением паров используемого вакуумного масла, а чувствительность прибора фоновым шумом от паров масла. Типичная предельная чувствительность приборов с пароструйными насосами достигала {{nobr|10<sup>−9</sup> Вт}}.
# все современные течеискатели оснащаются [[Турбомолекулярный насос|турбомолекулярными насосами]], что позволяет достичь чувствительности приборов на уровне {{nobr|10<sup>−12</sup> Вт}}.
* Система управляемых вентилей и трубопроводов предназначена для защиты работающего масс-спектрометра от прорыва атмосферного давления внутрь прибора.
# Под действием кислорода воздуха перегорает катод<ref>ценой до 600 евро в некоторых моделях/</ref>.
# Турбомолекулярные насосы<ref>ценой от 450 евро</ref> не способны работать при давлениях свыше {{nobr|0,1 атм}} и разрушаются с разлётом лопаток при прорыве атмосферного давления на вход насоса.
# Управление вентилями включает в себя наборы емкостных датчиков давления.
# Выхлоп форвакуумных насосов, особенно безмасляных насосов следует защищать от попадания гелия, поскольку он вызывает появление ложного сигнала.

=== Фреоновые течеискатели ===
Фреоновые течеискатели используются для поиска течей на любом оборудовании, но проигрывают 3—4 порядка в чувствительности гелиевым масс-спектрометрическим течеискателям. Принцип действия фреоновых течеискателей основан на адсорбции тестового газа на поверхности датчика. В связи с этим при детектировании больших течей фреоновые течеискатели могут сорбировать слишком много фреона и потребуются специальные процедуры для релаксации датчика. С другой стороны работа на атмосферном давлении и простота датчика позволяют создавать ручные портативные течеискатели с чувствительностью до {{nobr|10<sup>−7</sup> Вт}}.

=== Ультразвуковые течеискатели ===
{{Дополнить раздел|дата=2016-08-31}}
Ультразвуковой течеискатель представляет собой комбинацию трёх приборов: генератора ультразвука с системой передачи звуковых колебаний на контактный щуп; контактного приёмника ультразвуковых колебаний; компьютерного или аналогового блока для оценки запаздывания и частотных искажений ультразвукового сигнала. Конструктивно ультразвуковой течеискатель близок к ультразвуковому дефектоскопу. Чувствительности ультразвуковых течеискателей могут достигать {{nobr|10<sup>−8</sup> Вт}} (по данным на 2001 г.) Существенным плюсом ультразвуковых течеискателей является относительная простота реализации течеискания, отсутствие необходимости в использовании тестового вещества. Существенным минусом метода являются повышенные требования к квалификации оператора, чувствительность метода к наличию посторонних шумов, в том числе шума протекающей по тестируемой системе жидкости или хладагента по рубашке охлаждения.

=== Ультрафиолетовые детекторы ===
{{Дополнить раздел|дата=2016-08-31}}
Чаще всего детектирование ультрафиолетовых тестовых маркеров осуществляется путём визуального осмотра в мягком ультрафиолетовом свете. Чувствительность метода сопоставима с чувствительностью гидравлических испытаний и обмыливанием, однако светящиеся в ультрафиолете точки более заметны, чем мелкие выходящие пузырьки и тем более мелкие капли воды или точечные отложения солей жёсткости.

=== Аэродвери ===
[[Аэродверь|Аэродвери]] — специализированные манометрические течеискатели, предназначенные для проведения натурных испытаний воздухопроницаемости ограждающих конструкций здания.

=== Другие типы ===
{{Дополнить раздел|дата=2016-08-31}}
* [[Датчик загазованности]]
* [[Детектор утечки воды]]
* [[Масс-спектрометр]]
* [[Индикатор шума]]

== Примечания ==
{{примечания}}

== Литература ==
* {{книга
|заглавие=ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания
|ссылка=http://protect.gost.ru/document.aspx?control=7&id=137476
|год=1990
|язык=ru
}}
* {{книга
|заглавие=Вакуумная техника
|ссылка=http://www.vacuum.ru/file/misc/leak-det.pdf
|год=1990
|publication=Высшая школа
|язык=ru
|автор=Розанов Л.Н.
}} {{Wayback|url=http://www.vacuum.ru/file/misc/leak-det.pdf |date=20120131222344 }}
* {{книга
|заглавие=Основы гелиевого течеискания : учебно-методическое пособие
|ссылка=http://kpfu.ru/publication?p_id=73016
|год=2013
|publication=Институт Физики, Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань
|язык=ru
|автор=Клочков А.В., Тагиров М.С.
}}
* {{книга
|заглавие=Современные методы течеискания : учебно-методическое пособие
|ссылка=http://kpfu.ru/publication?p_id=73729
|год=2013
|publication=Институт Физики, Казанский (Приволжский) федеральный университет, Казань
|язык=ru
|автор=Клочков А.В., Тагиров М.С.
}}
{{rq|img|wikify|sources|cleanup}}

[[Категория:Вакуум]]
[[Категория:Тестирование]]
[[Категория:Неразрушающий контроль]]
[[Категория:Техническая диагностика]]
[[Категория:Инструменты и технологии монтажа холодильного оборудования]]